Investigation of HF-based electrochemical etching solutions for porous silicon

Originalpublikation

Nehmann, Julia-Beatrix: Investigation of HF-based electrochemical etching solutions for porous silicon. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss., 2014, 165 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2014
Schlagwörter (deutsch): Elektrochemischer Ätzprozess, technische Aspekte, Dünnschicht-Solarzellen aus Silicium
Schlagwörter (englisch): Electrochemical etching process, technical aspects, thin film silicon solar cells
Fachliche Zuordnung (DDC): 670 | Industrielle und handwerkliche Fertigung

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