Sakiew, Wjatscheslaw
(Hannover : Institutionelles Repositorium der Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2024)
Die Ionenstrahlzerstäubungsdeposition ermöglicht die Herstellung von kompakten Schichten und Schichtsystemen mit amorpher Mikrostruktur und niedrigsten prozessinduzierten Defektdichten. Demgegenüber stehen im Vergleich zu ...